微调阀是真空微调阀的简称,又称真空针阀,主要有高真空微调阀、卡套式微量调节阀、高精度微调阀等类型,是工业控制阀门中用于微调操纵变量流量的节流装置。
微调阀的工作原理
高真空微调阀:通过螺杆传动调节锥形针与孔的缝隙长度,改变阀座流导值,从而精确控制进入真空系统的气体流量。
数控电动针阀:采用高精度直线步进电机驱动阀轴,步进电机驱动针的分辨率为0.0127mm/步进和0.0254/步进两种标准,阀门可由直流12VDC兼容逻辑电平和模拟0至2.5VDC信号控制,也可采用RS485接口直接进行通讯控制。
安捷伦精密微调阀:内部有一块具有光学级平面的蓝宝石和一套精密的位置调整机构,位置调整机构由一个精密细牙螺杆和一个高倍率杠杆机构组成,该机构的省力倍数高达13000:1,可以非常精密地调整蓝宝石的平面和与其相对的金属垫之间的距离,从而调整通过它们之间的流量,或者形成完全无摩擦、无咬合和无断裂的密封。